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第79章 首次流片(1 / 3)
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    四十八小时联调,最后两个小时。

    控制室里,静得能听见每个人的呼吸声。

    三班倒的工程师们,谁也没有离开。他们或站或坐,有的倚在墙角,有的蹲在地上,目光却都死死盯着同一个方向——主控台上那块跳动着数据的大屏幕。

    "第四十六小时。"王磊的声音干涩,"光源545瓦,稳定。"

    "工件台同步误差,0.08纳米。"

    "光学链路传输效率,78.4%。"

    苏宇坐在主控台前,手里端着一杯早已凉透的咖啡。他已经三天没合眼了,眼底布满了血丝,握着杯子的手,却稳得没有一丝颤抖。

    "苏总,"王磊低声说,"您要不……先歇会儿?这边我盯着。"

    "歇什么。"苏宇放下咖啡杯,"这台机器,从光源到镜组,每一颗螺丝,都是咱们拧上去的。它跑到最后这两小时,我不在这儿看着,心里不踏实。"

    第四十七小时。

    控制室里的空气,几乎凝固。

    "第四十七小时五十九分……"

    "五十九分三十秒……"

    "五十九分五十秒……"

    王磊的声音,越来越紧。

    "零!"他猛地攥紧拳头,"四十八小时——联调完成!"

    控制室里,沉寂了三秒。

    然后,整个厂房,彻底炸了。

    "过了!过了!"

    "四十八小时零故障!整机联调,全部通过!"

    "咱们的光刻机——活了!活了!"

    工人们把安全帽扔上了天,有人抱在一起,哭得像个孩子。

    苏宇没有喊,他只是静静地站在主控台前,看着那台钢铁巨兽,看着屏幕上跳动的数据流。

    他抬起手,指尖轻轻拂过控制台的边缘,像是拂过一台机器沉睡了二十年的心脏。

    "叮!【EUV总装】子任务进度更新:总装(完成)、联调(完成)——最后一环:流片!"

    "提示:流片成功,即【EUV总装】子任务全部完成。"

    苏宇深吸一口气。

    "王磊,"他开口,声音平静,"准备流片。"

    "流片?!"王磊一愣,"苏总,现在就流片?"

    "对。"苏宇说,"联调刚过,正是状态最好的时候。趁热打铁——"

    "让全世界看看,这台机器,造出来的芯片,是什么样的。"

    流片,是光刻机最神圣的一步。

    晶圆被机械臂稳稳送入真空腔体,在工件台上定位、对准。光源在指令下亮起,极紫外光穿过层层叠叠的光学镜组,在晶圆表面,刻下一道道肉眼看不见的纳米级电路。

    厂房里,上百人围在观察窗前,屏住呼吸。

    "晶圆装载完毕。"

    "工件台定位完毕,对准误差0.06纳米。"

    "光学系统,状态就绪。"

    "光源系统,状态就绪。"

    "曝光开始。"王磊的声音,在安静得可怕的厂房里回荡,"第一组图形,曝光完毕。"

    "第二组……"

    "第三组……"

    每一步指令,都伴随着一个确认音。每一道指令,都像是敲在所有人的心上。

    "第十组……"

    "第二十组……"

    一个小时后,曝光完成。

    "曝光完成!"王磊的声音,激动得变了调,"全部图形曝光完毕——转显影!"

    晶圆被机械臂从真空腔体中取出,送入显影设备。

    所有人,都挤到了显影车间门口。

    "显影完成!"操作员的声音,激动得发颤,"晶圆已经出来了!"

    "快!快看!"

    苏宇第一个走进车间。

    操作台上,一块八寸的晶圆静静地躺着。在无尘车间的灯光下,晶圆表面,反射着一层瑰丽的光泽。

    他俯下身,凑近那片晶圆。

    晶圆表面,密密麻麻的纳米级电路图案,清晰可见——在晶圆的正中央,一个图案赫然浮现。

    那是一条腾飞的龙。

    龙身缠绕着一颗五角星,星光四射——正是星辰集团的标志。

    "龙……"苏宇的瞳孔,猛地一缩。

    "是星辰的标志!"王磊的声音,一下子拔高,"流片成功!首次曝光——流片成功!"

    "成了!!"

    "咱们造出来了!!"

    "国产EUV光刻机,第一次流片——成功了!!"

    厂房里,彻底沸腾。

    有人跪在地上,掩面痛哭;有人高举双手,嘶哑地吼着;有人抱着身边的人,又跳又笑。

    老陈师傅站在观察窗前,看着那片晶圆,老泪纵横:"值了……我装配了一辈子机器,今天……值了!"

    陈院士捧起那片晶圆,
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