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第66章 双工件台(2 / 3)
    第二天下午,京城来的高铁,准时停靠在魔都站。

    何院士今年六十七岁,头发花白,精神矍铄。他一下车,目光就锁定了苏宇,上下打量了一番,忽然笑了。

    "小苏是吧?"他拍了拍苏宇的肩膀,"若雪那丫头给我打电话,说你这边在造EUV光刻机。我一开始还不信——现在看你这架势,是真要干啊。"

    "何院士,"苏宇郑重道,"工件台测量基准的事,拜托您了。"

    "走,先看光源。"何院士摆摆手,"别的不用多说。你们若雪那孩子,很少求人。她开口,我老头子,一定尽力。"

    何院士在总装车间里,整整转了一上午。

    他先看了极紫外光源——光源组的人给他演示了出光,何院士盯着那束紫外光,沉默了很久,才说了一句:"这束光,我等了二十年。"

    他又看了光学镜组的预装结构,用手轻轻拂过镜架,像是在抚摸一件失而复得的宝贝。

    "老陈那套镜组设计,我认识。"他说,"当年在硅谷,他就说过,总有一天要回来,造龙国自己的光刻机。"

    最后,他才停在工件台前,围着它走了三圈。

    "有意思。"他摘下眼镜,擦了擦,又重新戴上,"这个结构,是借鉴了艾斯摩尔的方案,但又改了不少。你们这套设计,底子不差。"

    "问题,出在基准台上。"他指着工件台的底座,"这个材料,热膨胀系数3.8×10。做普通机床,够用。做纳米级对准——差了两个数量级。"

    "何院士,有解吗?"王磊急切地问。

    "解,有。"何院士慢条斯理地说,"我们研究院,存着一套二十年前的方案——低热膨胀合金基准台。当年是为了国家光刻机项目备的料,项目停了,方案也封存了。"

    "封存了?"

    "封存了。"何院士笑了笑,"但图纸,还在。"

    他转身,从随身的公文包里,小心翼翼地掏出一个牛皮纸档案袋。

    "这套方案,封存了二十年。"何院士把档案袋放在桌上,"今天,算是我把它,交到对的人手里了。"

    当晚,星辰光刻总装车间,灯火通明。

    何院士带来的团队,连夜把封存的基准台方案,与苏宇的系统图纸进行比对、整合。

    "何院士,您看这里——"王磊指着图纸上的一处结构,"这个补偿算法,我们能不能跟这个材料的热膨胀曲线做耦合?"

    "可以。"何院士眼睛一亮,"你小子,有想法!"

    "还有这里……"

    一老一少,就着一张图纸,聊得越来越投入。苏宇站在一旁,看着何院士眼里那束光,忽然有些出神。

    这位老人,等这台光刻机,怕是等了二十年。

    凌晨三点,王磊的声音从对讲机里传来,带着难以抑制的激动:"苏总!基准台换装完成!重新联调!"

    "开始!"

    "工件台Y轴移动,误差——1.47纳米。"

    "X轴,误差——1.52纳米。"

    "精度,提升了一倍!"

    车间里,一片欢腾。陈博士激动得连说了三个"好"。何院士站在工件台旁,看着那组数据,眼眶微微泛红。

    "二十年……"他喃喃道,"这台机器,终于有人把它,接着造下去了。"

    他转过头,看着苏宇,忽然郑重地说了一句:"小苏,我老头子没什么能给你的。就一句话——只要这台机器需要我,我何某人的这把老骨头,随叫随到。"

    苏宇心头一热:"何院士,星辰光刻,永远是您的家。"

    何院士摆了摆手,目光却还黏在那台样机上,低声说:"能看着它立起来……我这辈子,值了。"

    苏宇看着那组数据,却没有松懈。

    "何院士,1.5纳米,离目标还差三倍。"他说。

    "我知道。"何院士点了点头,"剩下的,靠两样东西——补偿算法,和这颗轴。"他指了指工件台的驱动轴,"算法,我们研究院有现成的。轴,就看你们王总的软件团队,能写多细了。"

    "那明天,继续。"苏宇说,"一天,一纳米。"

    1.5纳米,离0.5纳米,还有三倍的距离。

    "继续。"他说,"何院士的方案,还能往深里挖。今晚,我要看到1纳米以内。"

    "收到!"

    苏宇刚放下对讲机,手机就响了。是助理,声音带着一丝慌乱。

    "苏总!出事了!"

    "说。"

    "刚刚……台积光电发布全球公告——"助理的声音有些发紧,"宣布从即日起,暂停为龙国所有芯片设计公司提供代工服务!"

    苏宇的眼神,骤然一冷。

    "国内那几家芯片设计公司……"助理的声音都在发抖,"全都慌了!他们找不到代工厂,订单全要烂在手里!有些小公司,可能撑不过