仰头看着天花板刺眼的日光灯。
连日来的疲惫如同潮水般涌上，伴随着巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核，正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开！
“终于……迈出了实质性的一大步。”
他闭上眼，轻声说道。
然而，短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里，硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前，目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
“定平。”
袁涛的声音透着前所未有的凝重。
“这两个台子，说白了，就是把那指甲盖大小的硅芯片和大尺寸掩模版，以纳米级的精度，在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。”
他抬起手，指尖指着面板上的技术指标，那数字触目惊心。
“移动速度要达到每秒数米以上！”
“移动精度要控制在小于3纳米以内！”
“这相当于在一万米外投篮球，误差不能超过一根头发的直径！”
“更要命的是。”
袁涛加重了语气，指着旁边巨大的真空腔体框架。
“这一切，都要在比地球表面最干净的地方还要干净千万倍的超真空环境里完成！普通的机械轴承在那种环境下，连动都动不了几下，更别说纳米级的精度了！摩擦、润滑、防震、热量控制……全是死结！”
陈工在一旁补充，脸色也很难看。
“还有位置反馈系统，分辨率要达到亚纳米级别！现有的激光干涉仪技术，在常温大气中都很难稳定达到这个量级，更别说在真空里还要抵抗各种难以预计的微扰动……”
“也就是说，支撑这两个台子运动的核心——精密轴承系统，要求能在超高真空、零润滑、极高速度、极强动力学负载、极低热变形……这一大堆地狱级条件下，还能稳定地实现纳米级的定位精度和重复定位精度……”
另一位负责机械系统的工程师几乎是呻吟出来。
“这……简直是机械工程的珠穆朗玛峰！比反射镜只难不易！”
办公室里一片死寂。
这确实是当前摆在面前的最硬的骨头之一！比多层膜反射镜更需要整个国家精密制造工业体系的支撑！
“我看了资料。”
袁涛再次打破沉默，语气冰冷得如同北极寒风。
“能满足这些要求的……无论是超精密磁悬浮轴承系统、气浮导轨轴承还是基于压电陶瓷的纳米定位平台的核心技术和关键部件……几乎全被东荒部落的东瀛精机和维京部落的几家公司垄断！而且……”
他顿了顿，一字一句道。
“根据最新情报和我们采购部门的确认反馈，这类涉及最尖端光刻技术的核心运动部件及技术，已经正式被列入对我们部落的最高级别禁运清单！连根毛都别想买到了！”
又是一条绝路！
一条比反射镜更为艰难百倍的绝路！引进的大门被彻底焊死、浇铸成了铁桶！
苏定平的目光紧紧锁定着设计板上那两个刺目的组件框图，仿佛要将它们烧穿。资金的压力、时间的紧迫、外界无数目光的灼热与审视……一股沉重的洪流再次压向他的心脏和每一个毛孔。
“只能自己造！”
他猛地抬起眼，声音不高，却带着不容置疑的决绝，像凿子钉进花岗岩。
“通知一体化军工厂那边，暂停原来的任务序列！最高优先级！”
他走到堆满图纸的大桌子前，一把扯开上面覆盖的保护膜，露出下面早已铺开、标注了大量复杂符号和线条的原始设计图。
“老袁，你们集中力量，协助我完成对工作台运动系统核心基础设计的深度优化！我需要你们解决系统动力学和磁路设计的关键理论问题！”
“陈工！”
苏定平转向另一位。
“立刻带人，按照我们优化后的设计图纸，给我搭建一个……最接近未来工况的超真空动态测试样舱！不需要多大，但要能在里面进行核心运动部件的真空环境动态模拟测试！速度，越快越好！我需要验证所有理论模型的边界！钱……”
他咬了咬牙。
“继续燃烧也要保证投入！”
“至于那些精密轴承……无论是超精密磁悬浮的磁极与线圈、气浮轴承的微孔节流结构、还是压电纳米驱动器的核心材料与驱动芯片……”
他手指重重地点在图纸上几个用红圈标注的关键点上。
“设计图，我可以根据理论一步步搞出来！但制造！制造只能靠我们自己的厂子！
一体化工厂那边，告诉他们，别指望买国外的仪器加工！就用我们自己能搞到的最强的加工中心！用镨工！用最老道的八级工！用