花白的眉毛瞬间拧成了疙瘩。
“理论上是可行!但那是要在完美设备上才能实施的极限微操!我们现在这台伏羲一号…自己走直线都打飘!用它迭曝?层数一多,任何一丁点套刻对准偏差,都会层层放大!误差累积下来,就是一场灾难!良率…会惨不忍睹!”
“我们没时间打磨设备了!”
袁涛的声音嘶哑,带着破釜沉舟的决绝。
“就用笨办法!堆层数!
一次对准误差可能超15nm,那我们就牺牲更大范围,用更繁琐的五层、甚至六层曝光!用设计冗余把线路加粗加宽!硬生生把平均套刻误差压下去!
靠工艺复杂性去逼近7nm的物理线宽!苏总,这是目前我们唯一可能够得着的路了!风险大我知道!失败几率超过九成我也知道!可总比现在原地等死强!”
所有目光都聚焦在沉默的苏定平身上。会议室的空气粘稠得如同铅汞。
苏定平看着投影屏上那张被标记为五层光刻掩模版、线条堆迭得如同乱麻、结构臃肿得如同拼凑补丁般的7nm测试芯片结构图。
那张图,就像个绝望者病急乱投医、强行制造出来的怪物!丑陋!低效!违背常规设计的简洁和高效美学!
但他更知道袁涛没说错。没有时间了!
“干!”
苏定平猛地一掌拍在桌子上,合金桌面发出一声沉闷的呻吟,震得虚拟烟灰缸里的像素都跳了一下。
他的声音斩钉截铁。
“立刻组建迭影攻坚组!袁涛任现场技术总监!按照五层曝光方案实施!哪怕成功率只有万分之一!只要还有一丝可能造出符合7nm节点特征尺寸的晶体管!
这条路就给我走下去!失败?废品?烧钱?算我的!所有责任后果我一人承担!目标只有一个——打通这条带血的路径!给烛龙堆芯!送去能搏动的心!”
接下来的日子,龙芯实验室如同进入了某种惨烈的、自我消耗的绞肉机模式。
每一次五层曝光,都是对设备稳定性、工艺精密度、工程师神经极限的一次地狱级考验!
涂胶…对准…曝光!
再换掩模…再涂底层抗反射涂层…再对准…再曝光!
如此反复五次!
实验室里弥漫着一种近乎疯狂的气息。操作员的眼睛几乎长在对准仪的视窗上,每一次微调都屏住呼吸,手心全是冷汗。
空气中充满了各种光刻胶溶剂、显影液以及过度紧张散发出的汗味。机器报警声如同丧钟,几乎就没有间断过。
第一批五层套刻试产后,郭雪云拿着刚出炉的良率报告单,手指都在微微颤抖。
她走到彻夜未眠、眼窝深陷的苏定平面前,声音带着哭腔。
“苏…苏总…”
报告单上,那个用加粗红字标出的数字触目惊心。
【良率。14。7%】!
国际先进EUV光刻机制造7nm芯片的良率基准线是多少?初期也超过70%!量产稳定后甚至达到95%!
而龙芯的五层迭影工艺,14。7%!!
这意味着生产一百枚芯片,只有不到15片能用!其中能达到设计性能要求的,更是百中无一!剩下的85。3%,全是废片!全是烧掉的真金白银!还有无法估量的研发资源和时间!
昂贵的“昆仑胎玉”硅片?
珍稀优化过的“蚀影-7B”光刻胶?
天价的特种蚀刻药剂?
如同流水般消耗进那台轰鸣着、仿佛永不餍足的设备里,然后变成一堆堆只能用粉碎机处理的电子垃圾!
实验室门口,一名财务处派来的会计天天抱着成本核算单捶胸顿足。
“亏!血亏!!苏总啊!您算算!每造出一片合格的芯片,成本是市场采购价格的十倍!
二十倍!还不算损耗!!我们…我们这是点着钱堆在搞自杀式冲锋啊!”
五层曝光工艺下的“伏羲一号”生产区域,如同一个张开血盆大口的黑洞,无情地吞噬着这个尚未完全成熟的实验室每一份宝贵资源和每一丝残存的信心。
龙夏芯片自主征途,在刚刚看到了“光”之后,再次一头栽入了一个名为“多重曝光地狱”的深渊,挣扎在亏损和无果的窒息边缘!
“钱堆在烧!”
财务老王那带着哭腔的控诉,像刀子一样刻在实验室冰冷的金属墙壁上,也狠狠扎在每个人的心上。
五层曝光的绞肉机产线,在疯狂地咀嚼着“昆仑胎玉”和“蚀影”胶水的同时,也正在把龙芯实验室本就宝贵的时间和龙夏部落举国支持的信心,一点点嚼成碎末!
夜复一夜,苏定平像块没有知觉的磐石杵在那台庞大、嘶吼着制造昂贵垃圾的“伏羲一号”旁,屏幕上那个猩红的“14。7%”良率数字就是悬在他头顶的达摩克利斯之剑。冰冷的控制台面板映出他深陷的眼窝和近乎燃烧的瞳孔。
“堵死了…”他沙